VCR接头

VCR接头（VCR Fitting）是一种高洁净度、高密封性的金属面密封接头，专为超高纯气体、真空系统及半导体设备设计。其采用金属垫片（Gasket）密封，具有耐压性和气密性，适用于高压、高真空、无尘环境下的管路连接。

核心特点

✅ 金属密封 – 采用316L不锈钢或镍合金垫片，确保零泄漏（≤1×10⁻⁹ mbar·L/s）。

✅ 高洁净度 – 适用于半导体、光伏、医药等无尘要求严格的行业。

✅ 耐高压 – 工作压力可达100MPa（视规格而定）。

✅ 耐腐蚀 – 316L不锈钢材质，适用于腐蚀性气体（如HCl、NH₃）。

✅ 可重复使用 – 拆卸后更换垫片即可重复安装，维护成本低。

✅ 防震防松 – 采用卡套+螺纹锁紧结构，避免振动导致的松动。

技术参数

参数项技术指标连接方式卡套式（Swage-lok）公称尺寸1/8" ~ 1"（DN3 ~ DN25）工作压力真空~100MPa（视规格）工作温度-200℃ ~ +400℃密封材料316L不锈钢/Ni/铜垫片泄漏率≤1×10⁻⁹ mbar·L/s（氦检）适用介质高纯气体、腐蚀性气体、真空

典型应用

半导体制造 – 晶圆加工、CVD/PVD设备气体输送

光伏行业 – 太阳能电池生产中的特种气体管路

医药行业 – 高纯氧气、氮气输送系统

真空系统 – 科研设备、粒子加速器真空管路

石油化工 – 腐蚀性介质（如HCl、Cl₂）的高压输送

安全认证

SEMI标准 – 符合SEMI F72（超高纯气体接头规范）

ISO 9001 – 质量管理体系认证

ASTM BPE – 生物制药行业合规标准

ASME BPE – 高洁净度管道系统标准

中文术语英文术语金属垫片密封Metal Gasket Seal超高纯气体Ultra-High-Purity (UHP) Gas卡套式连接Swage-lok Connection氦气检漏Helium Leak Test半导体设备Semiconductor Equipment真空系统Vacuum System无尘环境Particle-Free Environment

适用于半导体、光伏、医药、科研等行业的精密气体输送系统，确保高密封性和洁净度。 ��⚡

VCR Fitting Product Overview

The VCR Fitting is a high-purity, metal-gasketed sealing connector designed for ultra-high-purity (UHP) gas, vacuum systems, semiconductor equipment. It features a metal gasket seal for superior pressure resistance leak-tight performance in high-pressure, high-vacuum, particle-free environments.

Key Features

✅ Metal Seal – Uses 316L stainless steel nickel gaskets (zero leakage, ≤1×10⁻⁹ mbar·L/s).

✅ High Cleanliness – Ideal for semiconductor, PV, pharmaceutical industries.

✅ High Pressure – Rated up to 100MPa (depending on size).

✅ Corrosion Resistance – 316L SS construction, suitable for HCl, NH₃, etc.

✅ Reusable – Replace gasket for reassembly (low maintenance cost).

✅ Vibration-Resistant – Swage-lok + threaded locking prevents loosening.

Technical Specifications

ParameterSpecificationConnectionSwage-lok (Compression)Size Range1/8" ~ 1" (DN3 ~ DN25)PressureVacuum ~ 100MPaTemperature-200℃ ~ +400℃Seal Material316L SS / Ni / Cu GasketLeak Rate≤1×10⁻⁹ mbar·L/s (He test)MediaUHP Gas, Corrosive Gas, Vacuum

Applications

Semiconductor – Wafer processing, CVD/PVD gas lines

Photovoltaic – Specialty gas delivery in solar cell production

Pharmaceutical – Medical-grade O₂/N₂ systems

Vacuum Systems – Research labs, particle accelerators

Oil & Gas – High-pressure corrosive gas (HCl, Cl₂) transfer

Certifications

SEMI F72 – Ultra-high-purity gas fitting standard

ISO 9001 – Quality management certification

ASTM BPE – Biopharmaceutical industry compliance

ASME BPE – High-purity piping system standard